二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #9185659 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz是一種光刻設備，為半導體光刻的發展過程儲存和分配化學物質。它旨在在開發過程中保護敏感部件並減少汙染。TEL Clean Track Mark Vz結合了幾個復雜的功能，如化學品輸送系統、化學品跟蹤、混合和配對一系列化學品。該裝置利用帶有噴嘴的流體輸送臂進行精確、高速的化學輸送。手臂連接到中央儲罐，用於儲存各種化學品。該機器能夠通過一系列傳感器對稀釋和原始化學濃度進行精確、準確的跟蹤。這使得工具可以調整化學品的稀釋比，以達到所需的溶液強度。清潔罐設計為在保持高純度水平方面高效。整個清洗過程不到一秒鐘。資產還具有先進的化學品維護模式，以確保妥善處理和跟蹤在開發過程中使用的化學品。模塊化設計使操作和維護更加方便。焊接不銹鋼混合室的設計是為了提供一個堅固的設備沒有泄漏或系統故障的風險。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz還包括高精度的精確控制工具，以確保整個光刻開發過程中的最佳工藝條件。這包括化學水平、溫度和純度的監測單位。該機器提供各種清洗、混合和控制化學平衡的選項。Clean Track Mark Vz中的所有功能都旨在最大限度地縮短工藝時間,提高吞吐量,並確保最終的半導體光刻開發過程中的最高質量水平。