二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #9314130 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz是一款為快速、精確的晶片陣列設計的光刻設備。它具有高速掃描功能和100納米分辨率,非常適合單層或多層光掩模制造。該系統由一個波長為193 nm的大功率水冷ArF激光器組成。它與中心對準單元相鄰，允許光掩模與晶圓精確對準。ArF激光輸出通過光學柱傳遞，光掩模圖案從相應位置投射到晶圓上。激光掃描儀非常精確，可以在不犧牲精度的情況下創建非常小的特征。它能夠達到200毫米的線寬,精度為± 10-nm。它的運行速度高達1000行/秒,使其能夠比同類中的任何其它機器更快地生成原型功能。此外,Mark Vz還具有各種高級安全功能。水邊蓋防止與激光光學器件接觸，主軸保護工具限制激光接觸晶圓。如果晶圓未能正確定位,安全傳感器將關閉激光束,從而保護光掩模不受任何損壞。為了便於維護,資產配備了易於使用的軟件。它自動執行許多常見的維護任務,並提供詳細的診斷信息。此外,還可以使用最新的軟件包更新型號,以確保設備的最大使用壽命。總而言之，TEL Clean Track Mark Vz是一種高度精密的光致抗蝕劑設備，專為快速、精確的晶片陣列設計。其可靠的性能、精確的精度和安全特性使其成為制造精確光掩模圖案的理想選擇。