二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293587658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是用於光刻工藝生產半導體器件的專用光刻設備。該系統利用光刻和濕法化學工藝的組合，可靠地對半導體晶片、平板顯示器和液晶屏等物品基板進行圖樣設計。單位基本由三大組成。這些是曝光模塊、清洗模塊和幹燥模塊。曝光模塊設計為使用光源和遮罩板執行平版印刷圖案。使用的光源可以是激光光源，也可以是紫外線光源，這取決於晶圓的類型。屏蔽板包含要轉移到晶圓上的平版印刷圖案。然後使用洗滌模塊在晶片暴露後從晶片中除去剩余的光刻膠殘留物。在這一步驟中，對一種抗蝕劑去除/蝕刻化學品以及一種溶劑（通常是水）進行調節和應用，以去除任何殘留的光致抗蝕劑殘留物。關鍵是要準確地完成這一步驟，以確保工序的清潔度和準確性。最後一步是幹燥模塊。此步驟用於去除暴露晶片表面的任何水分。同樣，重要的是要有非常低的水分水平，以確保光刻圖案的準確性。在此步驟中，使用酒精或異丙醇等幹燥劑來加快幹燥過程。TEL Clean Track的光刻機快速準確地制圖晶片,結果可靠.該工具結合了最先進的光刻和濕法化學工藝，確保在目標基板上形成精確的圖案和清潔表面。此外，它的模塊化設計可以方便地進行定制和改進，以滿足用戶的具體需求。