二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293751150 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track是一種在半導體製造過程中處理晶片的光刻設備。該系統旨在提供穩定、均勻的抗性塗層環境，有助於減少環境源引起的抗性缺陷數量。該單元由三個核心組件組成：運輸排氣機（TES）、均勻區域控制工具（UACS）和幹燥區域互鎖資產（DAIS）。運輸排氣模型（TES）通過控制整個加工區的進出口加壓，為光刻塗層工藝維持穩定的環境。TES測量壓力，控制進/出氣流，提供低湍流和最小汙染的高效氣流。TES有助於確保改善顆粒分布,從而減少抗性缺陷。均勻性區域控制設備（UACS）的設計是為了提供晶片上抗蝕性塗層的均勻性。它利用均勻的氣流來維持光刻膠在晶圓表面積上的均勻分布。這有助於在晶片上產生一致、高質量的光敏塗層，提高產量並減少缺陷。烘幹機區域聯鎖系統（DAIS）旨在為幹燥過程提供安全可靠的環境。DAIS控制幹燥室內的入口和出口氣流，確保整個晶片上的耐蝕塗層均勻性。DAIS還通過監測幹燥室環境中的任何潛在危險來幫助提高安全性，並在必要時采取適當行動保護晶片。TEL Clean Track是一種先進的光刻裝置,可提供可靠、一致的半導體晶片處理.該機由三個主要部件組成，它們共同提供均勻的抗性塗層，提高了產量，減少了缺陷。通過控制進氣/出口的加壓、均勻的氣流和加工區內的濕度，該工具允許改進具有最小汙染物的抗蝕性塗層。資產有助於降低抗缺陷風險，確保更高質量的產品和提高收益率。
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