二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293804761 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track是一種用於先進光刻的光刻設備。該系統使用了許多先進技術，以確保在生產微型化設備時的精確對準和分辨率。TEL Clean Track單元通過專註於減少光刻過程中的顆粒汙染來實現精確的光刻。這是通過整合若幹技術來實現的，例如有效的空氣過濾、除塵以及收集和清除碎片的工藝。具體工藝因使用的光刻設備類型而異，但通常包括以下步驟。首先，機器回收光刻室內的空氣，清除產生靜電的顆粒。這也有助於保持房間無灰塵。其次，有一個除塵工具可以過濾空氣中的灰塵顆粒。這是通過高效過濾、旋風除塵器和主動木炭空氣清洗技術相結合完成的。第三，資產阻止區域內的顆粒進入光刻室。該模型部署了一個噴嘴，輕輕地從腔室中除去懸浮顆粒，這對防止顆粒進入光刻機的高分辨率場非常有效。第四，設備采用了幾種技術來確保正在制造的設備的接觸面罩精確對準。這包括使用多種類型的光源、光學套圈對準和高精度激光對準參考點。所有這些功能確保正在制造的設備精確對齊。最後，系統既能保證精確對準，又能降低汙染物進入光刻室的可能性。這是通過位於光刻室外的二次清潔站完成的。本站設有高效率濾波器，以捕捉任何可能被帶入腔室的碎片或粒子。總體而言，TOKYO ELECTRON CLEAN Track單元是一臺先進的光刻機，利用多種技術來確保所制造設備的精確對準和準確性。該工具還有助於減少光刻過程中的汙染，創造一個沒有汙染物的環境。
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