二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9281924 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一款光刻設備，能夠在半導體制造中實現精確的陣列和高通量。該系統由一系列組件組成,旨在確保精確的功能,同時優化處理時間。該設備的核心技術是一種先進的光刻膠成分，比傳統工藝需要更少的曝光時間，允許更多的特征被蝕刻到單個晶片上。為了確保最大限度地控制光刻膠，機器包括一個先進的成像模塊，它允許更高的精度和分辨率圖樣。此外，該工具利用激光器，以確保精確蝕刻以及精確對準光刻在晶片上。對於沈積，資產采用先進的沈積策略，有助於在晶片上創建一致的特征和統一的沈積。這樣可以提高成品的可制造性和更高的產量。為了提供進一步的控制，模型包括加熱元件，將晶片加熱到特定溫度，以便精確處理材料。熱也用於快速熱循環連接,有助於提高工藝時間和產量。為了保護工具隨時間的磨損，設備還包括光刻膠系統的自動清洗。這是通過其集成的清潔循環來實現的，該循環從晶圓中清除任何汙染物或殘留物。此外，它還利用特殊的超音速清洗工藝，以盡量減少粘連和汙染，改善表面均勻性，並允許更精確的工藝。最後,該單元還配備了高級材料控制機,它使用高級算法對特征的最佳放置進行建模,以優化過程時間,同時仍保持特征的完整性。該工具還提供了可追蹤性,通過分析來自多個生產運行的數據,可以進一步改進流程。綜上所述，TEL Clean Track是一種綜合性的光阻資產，旨在提高加工時間和收益率。通過先進的成像、沈積和清潔策略以及材料控制,該模型有助於確保精確的功能,同時保持最終產品的質量。通過使用激光、自動清洗和精密算法，該設備為生產高質量半導體器件提供了可靠高效的方法。