二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9360709 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一種精密的光阻設備，設計用於精確、一致地將抗蝕劑薄膜沈積到晶片上。TEL Clean Track是為生產各種微電子器件中的高分辨率電路而開發的，已投入商業使用近二十年。TOKYO ELECTRON Clean Track設計的核心是一個專門的真空堆棧沈積室，設計用於對基板精確地施加抗蝕劑。腔室分兩個階段工作：第一，在腔室的範圍內形成一個特定的抗蝕劑流動，並定向到基板上。一旦施用了正確的抗蝕劑量，就用擴張器統一塗覆基材。傳送器利用超聲頻率波工作，引起抗振劑振動和均勻沈積。與其他系統相比,Clean Track的設計提供了幾個關鍵優勢。首先，由於抗蝕劑被應用在均勻的層中，它產生了精確到15納米的尖銳而精確的電路線路。這使得能夠生產高密度電子元件，而電流生成的TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track系統能夠產生小至8納米的特性尺寸。此外,由於其抗蝕劑的精確應用,系統可以提供數百萬臺設備的可靠性一致性。為確保最佳性能和減少停機時間,TEL已將多項功能納入TEL Clean Track單元。其中最顯著的特點是先進的過程監測和控制系統，可以實時監測和調整處理參數。這樣可以更好地控制晶片質量並增加正常運行時間。此外，還加入了一些安全系統，例如改進的空氣噴射器，以防止危險顆粒進入腔室。總之，TOKYO ELECTRON Clean Track為微電子行業提供了可靠、精確的光刻機。Clean Track的線寬精確到8納米,是最先進的工藝監控和安全系統,可提供無與倫比的精度和可靠性。