二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9374899 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一種在半導體器件製造過程中使用的光刻膠設備。它設計用於在器件制造過程中從光致抗蝕劑層中去除顆粒、有機和無機膜以及其他汙染物。TEL Clean Track利用高強度電離氣體將汙染物從光致抗蝕劑表面掃走。這種氣體使用淋浴總成輸送到光致抗蝕劑表面，淋浴總成包括一個氣體輸送噴嘴和一個可調氣體壓力調節器。壓力調節器是可調的，以提供一系列氣體輸送壓力，可以容納多種光刻膠層、表面化學和粒度。TOKYO ELECTRON Clean Track還包含高性能的泵以10至20 torr的最佳清潔壓力連續循環電離氣體。系統使用靜態濾波器幫助清除氣流中的懸浮粒子，以及可調氣壓計和調節器，為潔凈室應用提供一致的電離氣流。Clean Track單元包括一個獨特的成像機,它采用先進的光學技術,如激光照明和電荷耦合器件（CCD）成像來監測汙染物的光敏層。它還包括用於觀察微粒的雙視頻記錄功能以及肉眼看不到的汙染。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track提供了一個覆蓋成像設施，用於比較光刻膠應用前後拍攝的圖像，以改進工藝監測。總體而言,TEL Clean Track是一款堅固可靠的光阻工具,具有高效的顆粒去除、自動化過程和降低的制造成本。它被用於半導體器件的制造，對於去除光敏表面的小顆粒和有機汙染物特別有效。TOKYO ELECTRON CLEAN Track的設計旨在保持光刻膠層的完整性，並確保過程的重復性和高產率。