二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9399665 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是半導體制造商在生產集成電路時使用的先進光刻設備。光致抗蝕劑是一種光敏化學膜，用於在各種基材上形成電路。它經過各種步驟的光刻、蝕刻和沈積過程。TEL Clean Track系統有助於將風險降至最低並提高這些過程的準確性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track單元的設計目的是提供一個穩定一致的環境，圍繞晶圓暴露於過程中敏感的光刻膠步驟。它具有多個階段，側重於防止顆粒汙染，這可能導致最終產品的缺陷。這些階段包括：顆粒預制劑、靜態控制、清潔氣體、顆粒過濾、環境監測和後清潔。顆粒預制劑用於識別和清除清潔軌道室內的汙染物。靜態控制可防止在腔內積聚的潛在靜態電荷，這也會造成顆粒汙染。清潔氣體是一種高度過濾的混合物，防止在室內引入新的顆粒。顆粒過濾是一種主動過濾機器，除了先前消除的顆粒外，還捕獲環境環境中的顆粒。環境監測系統在進入TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track chamber之前檢測任何粒子。最後,對粉末進行進一步的粉末洗滌.TEL Clean Track工具可幫助半導體制造商在最小缺陷的高效過程中生產高質量的集成電路。這是通過消除整個光刻過程中的顆粒汙染來實現的，從而允許在每個步驟中保持嚴格的過程控制。此外,資產能夠確保每個步驟的產品都沒有缺陷。總體而言，TOKYO ELECTRON Clean Track模型是高產率、經濟高效的半導體制造的基礎。