二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380656 待售

ID: 9380656
優質的: 2000
Plasma cleaner 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是半導體工業中用來在矽片上創建圖樣的高科技設備。它被用於光刻工藝中,這是半導體器件制造過程中的一個關鍵步驟。TEL CS-600是一臺精密的機器,利用化學過程在晶圓表面上創建復雜而均勻的圖樣。該系統具有多曝光能力,使其能夠在晶片表面上沈積多層光刻膠。此特征允許創建嚴格的陣列和形狀。它還包括一個抗蝕劑塗層和計量檢查套件。塗層站將光致抗蝕劑分配到晶片表面上,計量站對抗蝕劑層進行100%的現場檢測,以獲得高精度和重復性。TOKYO ELECTRON CS-600采用了最先進的高速精密遮罩對準裝置。機器的自動模式識別使其能夠準確讀取掩碼模式並準確對齊自身,消除錯誤和不準確性。高度精確的對齊功能可幫助工具生成消除錯誤註冊錯誤的模式,並以生產率提高產量。CS-600還具有全自動設置和控制資產。它使操作員能夠自動且具有可重復性地執行流程配方。該模型還使操作員更容易維護和監控機器的運行狀況和性能。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600在計算機設備上運行,使用戶可以輕松與硬件交互並訪問輸出數據。它也是一個極其可靠的系統,旨在滿足最嚴格的晶圓制造要求。它也是一個非常高效的單元,消耗有限的空間,並提供快速和可靠的模式。總體而言,TEL CS-600光刻機是一種高度先進和可靠的半導體生產設備。它使用戶能夠在短時間內準確生成模式,同時保持高精度和可重復性。
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