二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種半自動光刻設備，設計用於處理薄膜沈積應用。它是由機器人晶圓加工單元、可編程空氣/真空儲罐和加工室組成的塗層/沖孔系統。由於其精確度和精確度，該單元非常適合精密螺距平版印刷應用。TEL CS-600允許像光致抗蝕劑、二氧化矽、鋁和鈦等兩種薄膜層的沈積，全部采用單一工藝。該機具有高速制圖能力，可以方便地容納接觸光刻和近距離光刻。它還能夠形成層線間隔器，這增加了刀具容納各種圖案幾何形狀的能力。TOKYO ELECTRON CS-600適用於半導體和光槽過程，如光刻、接觸光刻和接近光刻。晶片表面暴露於光敏材料的精確均勻塗層中，然後用閃光曝光進行圖樣化。CS-600可以容納需要從10微米到24微米的像素大小的各種進程。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600配備了一個四軸機械臂，可以編程快速精確地操縱晶片。由於其高效的掃描精度,它以較低的成本實現了快速的模式傳輸和層增長。這一資產有一個內置的可調真空室，它控制著感光層的水平，以確保連續層的完美結合。TEL CS-600配備了可編程的空氣/真空儲罐，有助於最大限度地提高模型在任何時候的真空水平。空氣/真空儲層是可調的，以便容納任何厚度的晶片。另外，TOKYO ELECTRON CS-600還配備了閘閥，以幫助保持儲層內部的光致抗蝕劑，防止其氧化。CS-600是一種高效可靠的光敏設備，設計用於處理大批量生產薄膜層。其精確、精確的性能使其成為解決細間距光刻應用的理想選擇。該系統的自動化機器人技術和可編程空氣/真空儲存器使其極其方便用戶，並提供了出色的效果。