二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380670 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是一個完整的光刻套件,它基於高度精確和高效的CS300系統。該單元使用最先進的準分子激光源進行光刻，並使用四區烘烤模塊進行抗蝕劑均勻性和曝光後烘烤。專門為內存、邏輯、CMOS設備等集成電路的大批量生產而設計。TEL CS-600利用先進的激光投影對準檢測器實現掩模與基板的精確對準。這種先進的激光對準技術可以進行精確的光刻加工和高工藝產量。利用自動對焦檢測器控制激光對焦位置，並利用減焦鏡頭最大限度地提高機器的工作效率。利用激光的多級發射結構和不同的散焦設置，對激光曝光參數進行了精確優化。通過優化激光光束光斑尺寸和采用雙方向標記，提高了TOKYO ELECTRON CS-600的覆蓋精度。此外，激光光源可以根據特定的光刻應用進行量身定制。該激光器還配備了高功率預激射和洪水閃光功能，以確保景深覆蓋。通過單獨控制的溫度區和均勻的烘烤過程,可以在CS-600上進行防腐處理。使用高分辨率多區域烘烤模塊可提高平版印刷性能並增加加工窗口。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600結合了激光投影對準和四區烘烤模塊的功能，為大容量集成電路制造提供了一種魯棒性的抵抗工藝。內置的高級曝光控制方法使TEL CS-600能夠輕松適應各種集成電路設計和制造過程的要求。晶片到晶片的邊緣對準由刀具全面的晶片對準設計控制。輔助傳感資產提高了模模對準精度。TOKYO ELECTRON CS-600還集成了完整的過程控制環境,使質量控制和過程優化成為可能。它配備了綜合質量分析模型，用於監測各種光刻參數和工藝條件。這些數據隨後被用於開發統計過程模型，可用於進一步優化平版印刷過程。CS-600是用於大容量集成電路制造應用的高度集成和優化的光阻設備。它配備了現代光刻技術和抗加工技術，並提供卓越的光刻性能。先進的控制系統確保光刻工藝得到優化，質量可以同時保持。