二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380673 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是為半導體工業中的器件制造而設計的光阻處理設備。該系統利用專有的蒸氣相工藝最大限度地提高光刻膠應用的暴露均勻性、吞吐量和產率。TEL CS-600是一個完全集成的單元,它為復雜的設備制造提供了一個完全受控的過程環境。該機器配有頂端裝載機和真空臂，設計用於從其載波中挑選零件，然後按照集成CD/DVD刻錄機的程序進行處理。此CD/DVD刻錄機提供在對原始數據進行光掩碼之前讀取和存儲原始數據的功能,然後將這些數據暴露在抗蝕劑中。CD/DVD刻錄機還包含增強的數據傳輸均值,允許進行詳細的過程控制。光掩碼是該過程的關鍵部分。光掩模用於限制和聚焦光敏材料的曝光。TOKYO ELECTRON CS-600中使用的光掩模具有各種尺寸和形狀的功能,所有這些功能都是為滿足客戶的要求而設計的。作為此過程的一部分,CS-600利用了一系列額外的精密光學元件,如光刻透鏡、玻璃頂部、蒙版曝光窗口和集成的蒙版對準器。對於微光刻，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600包含了圖像處理的AW-N120軟件。該軟件旨在通過設置激光曝光參數來微調圖像，確保最高精度。經過成像過程後，TEL CS-600配備了激光掃描自動校準工具，以保證曝光均勻性。TOKYO ELECTRON CS-600配備了三種烘烤工藝，旨在保護光刻膠免受損壞。通過在旋轉塗層過程中在高溫下烘烤光致抗蝕劑表面,CS-600可確保最高的質量均勻性和最大的粘合特性,從而實現可靠的表面粘合。此外，該資產的設計還包括一個回流光刻膠的烘烤後工藝，從而進一步保護光刻膠材料在隨後的加工過程中免受損壞。最後,TEL/TOKYO ELECTRON CS-600采用了一種專有的調平工藝,該工藝采用了先進的專有算法,並利用多個傳感器以受控的均勻厚度對整個基板精確施加抗蝕劑。這是設備制造的一項關鍵功能,因為它確保設備具有可靠的均勻性和產量。TEL CS-600是設備制造商的首選,他們需要一個完全受控的工藝環境和更高分辨率的成像技術來制造復雜的設備。TOKYO ELECTRON CS-600具有精確的性能、受控的環境和自動化的過程,是為使用高分辨率光掩碼進行設備生產的半導體專業人員而設計的。