二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380675 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光刻設備是一種單片光刻系統，設計用於以最小的模式變形曝光光刻材料。與傳統的光刻曝光系統相比,它提供了卓越的介電均勻性,能夠以極高的精確度和優越的產量打印精細的特征。該單元集成了多種功能，包括先進的高頻蒙版保持機、自動對焦和激光對準。TEL CS-600提供10nm的舞臺精度,允許按關鍵特征順序對抗蝕劑進行高精度陣列化。為了保持這種精度，TOKYO ELECTRON CS-600采用了一種高精度的直線電動機級驅動工具，以補償熱機械變化，以確保可重復的高精度曝光。資產的高頻蒙版持有模式支持介電5-500nm厚的蒙版套件，使光刻膠材料的錯綜復雜、精細的特征得以精確曝光。CS-600的激光對準設備確保光掩模相對於基板的對準，為高分辨率的結果提供穩定的陣列處理。系統的自動聚焦功能可確保整個曝光過程中的納米級精度。利用獲得專利的高分辨率激光二極管，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600可以測量光刻膠圖樣的臨界邊緣並自動調整其焦點。即使基板的地形或粗糙度發生變化,這也會產生一致的精確模式。TEL CS-600還提供多種高端功能,例如波長和數值孔徑5nm的超高分辨率成像。這會導致高吞吐量性能和極低的缺陷率。TOKYO ELECTRON CS-600是一種精確、易於使用、可靠的光刻裝置，旨在應對不斷發展的微電子產業的挑戰。它具有將邊緣分辨率降低到5nm的能力,並具有高精度的重復曝光,從而使高分辨率圖樣能夠以優異的產量進行打印。因此，它是先進和高容量微電子應用的理想解決方案。