二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380677 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種用於光刻工藝的綜合性光刻設備。該系統結合了先進的抵抗技術和全自動的基板處理單元，提供了一個完整的抵抗解決方案。TEL CS-600包括一個抵抗模塊、一個視覺模塊和一個底物對齊模塊，使其成為廣泛應用的理想解決方案。抗蝕劑模塊設計用於各種類型的抗蝕劑材料。它配備了一個抵抗噴嘴、一個抗反射塗層（ARC）噴嘴和一個噴霧幹燥機。噴嘴能準確控制抗蝕劑的應用，保證均勻沈積，精度高。此外，噴嘴還配備了泄漏探測器，防止泄漏和關鍵基板表面的汙染。抗蝕劑噴嘴的可調性允許在各種基材上同時沈積正負抗蝕劑配方。視覺模塊的設計是為了準確識別基底坐標，並跟蹤它們在基底級的運動。視覺模塊具有高分辨率的攝像頭，允許精確識別基板特征。這樣可以在應用過程中準確定位基板相對於抗蝕劑噴嘴和ARC噴嘴的方向。此外,視覺模塊能夠自動檢測基板缺陷並向抗蝕劑模塊提供反饋,以確保僅使用具有可接受完整性的基板。基板對準模塊有助於確保每次基板放置在基板臺上時基板的位置一致。它使用傳感器和軟件的組合來精確定位± 0.1mm範圍內的任何基板。這確保了抗蝕劑材料的應用是準確的。此外,由於此模塊具有自動化特性,因此可以在單個批中方便地設置大量基板。總體而言，TOKYO ELECTRON CS-600是一款卓越的光刻機，提供卓越的均勻性和生產率。其通用的抗蝕劑應用選項允許靈活生產各種基板，使其成為光刻工藝的理想解決方案。此外,先進的成像和對準功能可確保基板能夠準確定位用於抗性應用過程,從而實現卓越的可重復性。