二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380678 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光刻設備是光刻的工具；半導體制造中常用的工藝。該系統具有用於精確對準曝光晶片位置的晶片對準級、高功率紫外線或激光光源、用於放大或縮小圖像的電動變焦鏡頭以及高度先進的控制單元。晶圓對準級由真空卡盤和三個可調運動軸組成，為操作員提供晶圓位置和方向的精確控制。內部照相機可用於驗證晶圓在曝光前的位置和對準。此功能可確保每個晶片都能準確定位和曝光,而無需手動幹預。機器配備了利用短弧光燈產生紫外線或激光的光源，視應用情況而定。燈具和電氣控制工具的設計最大限度地提高電弧壽命和最低維護要求。資產可以使用廣泛的濾波器模式來優化各種應用的曝光參數。電動變焦鏡頭旨在為操作員提供最大程度的靈活性和曝光控制。它具有遠心設計，具有可調虹膜，以精確控制光線強度。它還提供了可調焦點和縮放,允許用戶選擇理想的圖像大小。控制模型非常先進,具有觸摸屏用戶界面和高級診斷功能。它允許操作員預編程曝光參數，並為不同的應用程序存儲各種不同的設置。設備還可以與其他生產設備集成，以加強過程控制。TEL CS-600光刻系統是半導體制造的強大工具，提供精確的晶片對準、高功率的紫外線或激光光源、可調聚焦和變焦，以及先進的控制單元。憑借其自動化某些過程的能力，它為用戶提供了高效可靠的光刻體驗。