二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種光致抗蝕劑設備，用於將光致抗蝕劑材料精確應用到晶圓或基板上。光致抗蝕劑材料對光敏感，可用於在基板上為各種應用創建圖樣。光刻膠系統由噴嘴單元和掃描儀頭組成。噴嘴機又稱自旋塗層單元，包含一個可編程電動機，用於控制旋轉速率、噴嘴溫度和電阻率，用於在基板上精確應用光敏材料。掃描儀頭是一種光學傳感器，用於將晶片精確定位在塗層裝置中。它使用遠心透鏡，減少成像相關的失真，提供完美無瑕的成像。此外，TEL CS-600光刻工具還配備了先進的控制單元，用於資產控制和處理。它使用戶能夠根據流程的需要設置所需的速度、溫度、電阻率和壓力。該單元還提供了一個光譜分析函數，用於分析光敏材料以進行適當的材料沈積。TOKYO ELECTRON CS-600還配備了高級可編程邏輯控制器（APLC），用於執行任務。這種精密的設備可以針對多個流程步驟執行各種復雜的任務，同時仍保持高精度。綜上所述，CS-600光刻模型是光刻的一種高效可靠的解決方案。它配備了最新的技術進步，在基板上進行精確、可重復和可靠的光敏沈積。它對自旋速率、溫度和電阻率等參數的嚴格控制，確保基板塗覆有精確的光敏材料量和均勻性。