二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600（'TEL CS-600'）是一種自動化光刻設備，用於制造半導體器件。該系統可以配置一個晶片卡帶或雙晶片卡帶裝載機，並且能夠處理多達200毫米的晶片。該單元具有優化的卡帶到卡帶晶片處理功能,無需手動卸載晶片。TOKYO ELECTRON CS-600使用先進的計算機來控制操作，並使用直觀的用戶界面來簡化操作。該工具允許兩種操作模式-本地模式和遠程模式。在局部模式下，資產可以從外部操作員控制面板操作。在遠程模式下,模型可以從局域網上的計算機操作。CS-600有一整套用於烘烤前和烘烤後序列的清潔工藝。其清洗過程包括沖洗和自旋幹燥、噴霧和自旋幹燥、噴射和自旋幹燥、吹風和自旋幹燥。除此以外，還有針對特殊清潔需求的手動和自動顆粒清洗工藝。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600利用先進的掃描儀和運動控制設備來檢查和優化晶片上光敏特性的圖樣位置和叠加。它采用全自動軟件驅動的光學對準器,具有可調的光斑大小和聚焦深度範圍。TEL CS-600還具有先進的裝載機/卸載機系統,可縮短吞吐量時間,從而加快光刻材料的處理速度。集成工作臺可減少裝卸時間,而全自動清潔裝置可改善光刻材料的傳輸。TOKYO ELECTRON CS-600還具有可編程格式設置,在處理不同類型的晶圓時可以靈活使用。該機配備了先進的安全功能，以確保安全運行。安全功能包括操作員離開工具時自動停止,以及機器閑置超過一定時間時自動解鎖。CS-600還包括操作人員可隨時訪問的緊急停止按鈕。總之，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種先進的自動化光刻膠資產，為制造過程提供更高的吞吐量和更高的精度。其先進的光學對齊器和裝載器/卸載器系統提供高效、高質量的性能，而其直觀的用戶界面和安全特性簡化操作，確保操作安全。