二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380681 待售

ID: 9380681
優質的: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種設計用於半導體制造行業的光阻設備。它利用最先進的光學、精密操縱器、先進的光刻技術和過程控制軟件,以高精度和一致性的方式制作光刻膠圖案。TEL CS-600的緊湊設計讓它在占用較少空間的同時,為性能提供了最佳參數。它能夠與多種光致抗蝕劑材料一起工作,包括矽酸鹽、聚矽烷、硫氟化物和聚酰亞胺,使其成為半導體IC(集成電路)制造的理想之選。該系統的生產速度與高端光刻系統相媲美,減少了周期時間,促進了連續生產。TOKYO ELECTRON CS-600利用兩個先進的光學透鏡進行成像。其高分辨率的1.4倍成像透鏡確保了光刻膠上圖案的精確對準,並消除了任何光學失真。另一種鏡頭具有變焦能力,可進行精細成像控制.該裝置的兩個精密機械手能夠快速對準成像鏡頭,而其自動控制機器則保持模式精度和過程一致性。除了令人印象深刻的性能外,CS-600還擁有易於操作和維護的功能。其用戶友好的軟件允許對光刻過程進行快速、高效的編程。其標準化的硬件接口可方便維護和更換部件。而其廣泛的專用配件可用於光刻應用自動化和優化生產工藝。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種先進的光刻工具,非常適合半導體制造實驗室使用。其先進的光學設備、精密操縱器、自動化控制和用戶友好型軟件使資產具有很高的可靠性、準確性和經濟效益。它能夠快速、精確地產生高質量的光刻膠圖樣,是優化IC制造工藝的理想選擇。
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