二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380682 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是一種多用途、可靠的半導體制造圖樣和蝕刻基板的工具。該系統利用等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）技術在基板上沈積一層光致抗蝕劑。TEL CS-600由加工室和源室兩個主要部分組成。該工藝室是一個密封的密室，裏面裝有真空泵。源室包含該過程所需的組件。基板可以裝載到加工室，一旦密封，泵便開始排空該室。而在真空下，源腔中的組件被加熱到所需溫度。然後，可以將不同類型的氣體引入腔室，開始沈積和蝕刻過程。TOKYO ELECTRON CS-600可用於圖樣和蝕刻多種底物，包括由多晶矽、摻雜氧化物、氮化物、SiGe/SiGe等制成的底物。對於蝕刻，使用氯和氟基氣體。至於光致抗蝕劑層，CS-600利用一個涉及單體和引發氣體的聚合過程來產生光致抗蝕劑。聚合過程允許工具為光刻膠處理應用提供無與倫比的性能。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600內置了幾個安全特性。該機組配有內部安全閥、吹掃機和排氣工具。這些安全特性有助於確保在處理過程中不會將有害物質釋放到環境中。TEL CS-600是光阻處理應用的高效可靠工具，旨在提供半導體行業的卓越性能和可用性。TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Asset憑借其多才多藝的功能，是半導體制造商青睞的選擇。