二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380683 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是半導體工業中光刻工藝的強大可靠工具。TEL CS-600具有可靠的集成系統,可增強對光刻工藝的控制,具有最先進的光學性能和先進的晶圓處理功能。該單元提供卓越的光學性能,包括用於精確成像的高數值孔徑（NA）和用於動態功率調節的卓越激光照射功率控制。該機還配備了先進的晶圓處理能力，包括自動襯底對準、晶圓到晶圓溫度均勻性，以及控制工藝溫度的優化冷卻速度。此外，TOKYO ELECTRON CS-600具有可編程電源，最大靈活性和安全緊急停止功能。CS-600還提供了多種不同的光刻選項，以適應不同的光刻需要。其中包括單模光刻膠（SMPR）、多模光刻膠（MMPR）和主動光刻膠（PPR）。SMPR提供高水平的靈敏度和細節,以及出色的對比度。MMPR是復雜的光刻任務的理想選擇，能夠產生大的圖樣，並將光刻膠烘烤到基材中。PPR是為3D結構設計的高性能光刻膠，能夠實現先進的光刻效果。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600配置緊湊,確保安裝和操作方便。此外,它還提供各種標準和自定義組件,以根據特定客戶需求進行定制。此外,該工具的模塊化設計可輕松更換單個光刻膠元件。TEL CS-600 Photoresist Asset是先進光刻工藝的一種強大而可靠的工具,可提供高水平的可重復性和均勻性。該模型為各種光刻工藝提供了高度可靠的結果,非常適合用於半導體制造。