二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380684 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600（TEL CS-600）是TEL（TOKYO ELECTRON）為在晶圓表面上產生精確、高質量的抗蝕劑而設計的光刻設備。TOKYO ELECTRON CS-600是一個全自動系統,包括曝光、冷卻和抵抗剝離功能.曝光過程由一個先進的視覺單元管理，其可變光源跨越紫外線（UV）到可見到紅外（IR）光的全光譜。該機還包括一個變速冷卻水槽，可以更好地管理熱量，並能夠形成小而復雜的導電線路。抗蝕劑剝離過程是在旋轉清潔劑模塊上進行的，該模塊提供了高精度生產各種晶圓尺寸和形狀的抗蝕劑。使用先進的成像工具,並配備自動對準和舞臺自動對準等功能,CS-600能夠以微米精度將晶片對準定位級。成像工具還配備了自動對焦功能，可隨時確保圖像穩定，使資產無需人工幹預即可生產高精度抗蝕劑。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600能夠生產厚度低至1000埃（1nm）的抗蝕劑。TEL CS-600是一種環保模型,符合EPA法規,以確保暴露期間的安全。設備還配備了多種安全功能，如自動關閉系統，以減少發生事故的可能性。TOKYO ELECTRON CS-600是一種先進的光刻膠系統，具有廣泛的特性，使其能夠產生精確和高質量的抗蝕劑。該裝置方便用戶，符合安全標準，能夠生產厚度和復雜性廣泛的抗蝕劑。這使得CS-600可以用於各種工業應用，如半導體生產和醫療設備制造。