二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380685 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種創新的光刻設備,旨在簡化和增強半導體制造和微電子裝配的光刻工藝。這種先進的系統提供卓越的均勻性和對比度與優秀的圖像質量.TEL CS-600利用先進的模式發生器和強大的成像單元，由專用的光學引擎提供動力。這確保了精確和均勻的照明和配準，以及精確的空間頻率選擇，以獲得最佳的對比度。模式發生器由兩個具有10 kV電子束、200 MHz和5 μ m聚焦透鏡的Scan Heads和光學曝光導引機組成。這種組合允許極其精確的曝光和曝光參數的微調。該工具還附帶了一套專為光刻膠應用而設計的專有軟件工具。軟件允許用戶輸入所有參數和條件，以達到預期的效果。光刻、烘烤、曝光、蝕刻、剝離等功能被考慮在內，以達到最佳精度和結果。TOKYO ELECTRON CS-600采用高精度級運動，以更流暢的模式生成，並通過使用真空室和級控制來獲得卓越的分辨率。此外，資產還配備了先進的數字算法，用於降低成本過程中的配置文件控制和監測。總之，CS-600光刻膠模型具有優越的特性和優勢，可以簡化和改進半導體元件的制造工藝。出色的成像設備、先進的軟件、精確的控制特性以及卓越的精度和統一性，使得這一尖端系統在半導體行業中不可或缺。