二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380686 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種光刻設備，允許用戶用光刻直接對金屬層進行圖樣。廣泛應用於先進的半導體制造工藝，如微小作物傳感器和結構的組裝、微型機電系統（MEMS）、互連、光電器件等。該系統提供精確的曝光控制、特征尺寸控制和堅固的金屬陣列,所有這些都是在一個過程中完成的。TEL CS-600使用一種稱為電子化學輔助耐熱劑（ECAT）的專有光抗蝕劑。這種抗蝕劑被設計為與各種金屬和基板表面飾面兼容。它對可見光和電子束都具有高度的光敏性，允許用戶控制圖樣和特征的分辨率。此外，TOKYO ELECTRON CS-600配備了一個機械級，相對於曝光光源精確定向抗蝕性塗層基板。CS-600具有多種光刻工具，包括高分辨率圖像投影儀、鹵素/汞弧洪水曝光源和激光曝光源。這些工具旨在實現極低的線條/空間模式，分辨率高達0.8微米（μ米）。該單元還具有一個高分辨率的掃描單元，能夠在多個角度同時曝光。為確保最高精度，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600配備了高性能反饋機。此工具可連續監控抗蝕劑塗層基板相對於曝光源的距離,並進行調整以確保陣列對齊在公差範圍內。掃描細胞也定時以減少長時間暴露對抗蝕劑的損害。TEL CS-600還配備了精密的清潔、塗層和幹燥資產。此測序模型可防止過程磨合過程中的汙染,並確保抗蝕劑均勻性和光學清晰的最終結果。TOKYO ELECTRON CS-600還包括一個開發後的線路清潔站，協助用戶在底物暴露和開發後從底物中去除光致抗蝕劑。總體而言，CS-600是一個強大和可靠的光刻設備，用於金屬層的直接圖案。其多功能性和堅固的特點使其適合廣泛的光刻應用。