二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種光致抗蝕劑設備，設計用於覆蓋和開發半導體批量生產的先進基板。該系統利用最新技術,產生符合行業標準的高質量、高效結果。TEL CS-600專為優化基板利用率而設計,可容納高達8 x 25英寸的基板和快速晶圓處理單元。它具有通過使用機器人實現的自動卡帶到卡帶功能，以及一臺內置跟蹤機器，用於監控晶圓吞吐量、跟蹤晶圓傳輸以及晶圓塗層和開發階段。該工具能夠快速塗覆光刻膠並簡化配方工作流程，使其適用於各種洗滌劑解決方案。此外，該資產與許多自旋和噴霧處理過的化學品兼容。高精度TOKYO ELECTRON CS-600采用自我診斷模型，對設備性能進行連續監測，必要時可立即采取糾正措施。該系統還提供全面的單位計量，報告溫帶、空氣速度、濕度、力、濃度、位移和加速度等多個參數。該機器包含用於過程控制的高級活動工具。它可以檢測和調節氣體壓力、溫度、濃度和溶劑流量，以保持最高精度水平。該工具的高級評估工具有助於確保產品質量,將自動檢查與操作員的目視檢查結合起來。CS-600可以完全集成到運營商的生產線中,同時控制許多模塊,如晶圓轉移、化學混合物和基材轉移。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光致抗蝕劑資產的設計符合高性能和生產率要求。通過提供同類產品中最快的速度和最高吞吐量,TEL CS-600可以最大限度地提高生產效率。該模型是半導體供應商的理想選擇，旨在實現更高效可靠的工藝操作。