二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9398730 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光刻設備是一種強大的工具，用於通過高度精確的光刻工藝生產高質量的元件。光刻是通過使用一種稱為光刻膠的光敏材料在物體表面產生特征的過程。光致抗蝕劑是一種光敏液體聚合物，當暴露於特定波長的光時會變硬。TEL CS-600系統利用一種稱為四甲基銨聚矽氧烷或TMA-PS的特殊類型的光致抗蝕劑。這種類型的光刻膠設計為提供高分辨率的成像，增加處理吞吐量，提高精度和重復性。TOKYO ELECTRON CS-600單元由四個主要組件組成：光源、處理器、掩模對準器和開發單元。光源產生一束紫外光來暴露光刻膠。然後使用處理器內的光學元件將光束聚焦到基板上。遮罩對齊器可確保光束與光刻膠基板正確對齊。然後,處理器使用掩碼來控制基板的哪些部件將暴露在紫外線下,哪些部件將保持不變。最後，開發單元處理暴露的光致抗蝕劑，除去暴露的零件，只留下有圖案的特征。CS-600機器允許用戶輕松地生產高度精細的零件,並實現非常高的精度和可重復性。此外,該工具還具有一系列可定制的設置,允許用戶更改曝光時間,從而提高打印圖像的分辨率和準確性。總體而言,該資產為用戶提供了一種生產高質量組件的高度可靠、高效和經濟高效的方法。
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