二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399456 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種為高性能介電圖樣設計的光阻（PR）設備。它利用多合一平臺，為用戶提供成本效益最高、效率最高的光刻膠開發和幹蝕刻工藝。TEL CS-600光刻膠系統可應用於需要對材料進行精確制圖的廣泛應用，例如在制造集成電路、LED照明和顯示產品方面。TOKYO ELECTRON CS-600具有高速精確的單輪設計，允許無粒子處理和處理敏感部件。它具有雙掃描儀單元，每個單元可處理多達100個晶圓，輸出的KRYDFE波長分別為90kHz和200kHz。CS-600還提供了可選的四輪選項,以提高速度、精度和處理能力。四輪選件還提供了增強的晶片預處理，允許更好的預曝光和塗層的晶片。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光致抗蝕劑單元可與各種塗層和PR的厚度配合使用，並對開發圖樣的壁厚提供極好的控制。TEL CS-600還具有半自動PR擦洗工藝,允許在模式開發過程中獲得統一且可重復的結果。在數據輸入方面，TOKYO ELECTRON CS-600與公司的SPS-nanoManager數據庫軟件集成，用於控制晶圓基板的性質和參數。該機器還提供實時底物數據加載過程，並且可以使用任何數據庫接口。在安全方面，該工具符合ISO 14644-13無顆粒和無溶劑環境要求。總體而言,CS-600光刻膠資產的設計具有成本效益,在處理材料時為用戶提供精確、快速和可靠的性能,並降低過程中敏感部件損壞的風險。通過提供良好的晶圓預處理、優異的PR擦洗工藝控制和實時基板數據加載,用戶將受益於模型的最大處理能力和最佳結果。