二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399466 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是一種高端光刻處理系統,旨在為您的5微米設備制造優化生產力和準確性。TEL CS-600 Photoresist Unit采用最新的先進成像技術,能夠精確處理分辨率小於5 μ m的最小特征。該機還具有多次曝光的高重復率，使得大容量生產電路模式和特點。TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Tool具有高速成像儀/掃描儀和自動對焦器,可實現高通量,在曝光之間快速轉換。集成的光學對準器和對準監視器提供精細的準確性和精確度,而資產的減少掃描功能允許生產最細的線寬降低到5微米。該模型還帶有用於快速晶圓交換的可編程卡盤。CS-600光敏設備可加工多種光敏和吸收劑.根據用於各種線圈直徑和器件尺寸的工藝配方,可以使用適當的材料來滿足各種器件生產要求。該系統提供兼容的程序,可根據您的特定需求創建通用的光刻生產單元。該單元的集成真空/壓力/冷卻劑模塊提供了真正的過程靈活性和穩定性，而完整的盒式裝卸機則以較低的擁有成本提供了更高的生產率。該機器是完全自動化的，並支持高性能的測量和計量包，提供無與倫比的過程控制。此外,該機器可以輕松地與其他TEL設備集成,並提供可擴展的解決方案,以滿足設備生產需求的特定需求。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Tool有助於確保在您的5微米設備制造中實現統一的高生產率和準確性。憑借先進的成像技術和集成的真空/壓力/冷卻劑模塊，該資產裝備精良，可提供高效、經濟高效的光刻生產單元。