二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399468 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一種光致抗蝕劑設備，為精密的圖樣化提供全面先進的解決方案。該系統旨在提供性能、安全性和可靠性最高的全自動流程。該單元結合了先進的光刻工具和工藝，能夠以最高的產量實現精確的圖樣。TEL CS-600包括照片對齊機、掃描儀、針架曝光工具、兩個腔室和兩個烘焙站。光對準資產提供了光掩模和基板的精確對準。這樣可以實現最高效的模式,從而確保最高的產量。掃描儀使用高功率光學器件捕獲和聚焦，然後投影並重復圖樣到晶片上。針架曝光模型由兩個曝光頭、一個分配頭和一組小針頭組成，用於繪制光刻膠上的圖樣。兩個腔室串聯工作，塗抹光刻膠，然後顯影除去抗蝕劑材料。第一室容納色散罐，其中的光致抗蝕劑被混合和分配到基板上。腔室還包括一個快門，允許抗蝕劑暴露在花紋中並發展。暴露後，晶片被轉移到裝有空氣動力學幹燥機、廢水汙染設備和化學去除室的第二室。烘焙站也高度自動化，集成到TOKYO ELECTRON CS-600系統中。在烘烤過程中，保持溫度控制環境，以確保光刻膠的均勻固化和穩定。烘焙站也可用於蝕刻、蝕刻、切割等其他工序。CS-600設計用於快速原型設計和先進的微型制造過程。當與其他機器配合使用時,它對3D打印過程特別有效。先進的光刻工藝與TEL/TOKYO ELECTRON CS-600提供的自動化工藝相結合，為生產技術復雜的產品提供了更加高效、可靠和高性能的方法。