二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399469 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是對微電子光刻工藝提供強大、精確控制的光刻設備。該系統的特點允許對具有亞微米特征分辨率功能的光刻層進行快速處理。該裝置采用氣動真空卡盤，提高了耐蝕塗層的均勻性。平臺本身是圍繞閉環控制設計的，以確保抗蝕層厚度一致。機器還將在抗蝕劑沈積過程中監測暴露區域的水平，從而產生更好的質量過程。曝光的長度也由刀具根據目標電路的缺陷模式自動調整。該資產使用具有高分辨率顯示和自動膠片重叠功能的光學投影模型。此外,TEL CS-600平臺易於升級,允許用戶定制設備的功能以滿足其光刻需求。該系統還包括一個顯影機構，以精確控制正在使用的抗蝕劑的配方和開口深度。這是使用幾種專有算法完成的,這些算法也用於保持一致性性能。為了進一步提高統一性，在該平臺內整合了一個清潔和跟蹤單元，以監測和規範光刻的性能。板載診斷有助於識別和糾正過程中的任何問題,以確保結果符合用戶設定的確切規範。最後,TOKYO ELECTRON CS-600的設計具有許多安全功能,允許用戶對機器進行預編程,以最大程度地防止意外激活或不當暴露。此外，平臺是自我監控的，確保工具的所有組件正常運行。CS-600光刻資產提供了對微電子光刻工藝的強大而精確的控制,從而能夠快速處理具有亞微米特征分辨率能力的光刻層。這種可靠、靈活的型號完全可以升級,並帶有診斷、跟蹤和安全功能,以確保獲得最高質量的光刻效果。