二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269591 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一款功能強大、用戶友好的高級光刻工藝抗蝕劑處理系統。TEL CS450專為一致性和準確性而設計,能夠處理下一代半導體技術的復雜陣列要求。該單元支持深紫外線（DUV）和極紫外線（EUV）光刻等應用，單、雙曝光步驟。TOKYO ELECTRON CS 450設計用於化學放大的負音光刻劑。這臺機器先進的旋轉技術優化了過程的可變性,並實現了出色的均勻性和生產率,即使采用了較小的圖案設計。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450具有集成的機器視覺,能夠自動檢查和識別缺陷。TEL CS 450配備了可編程過程參數設置。這樣可以獲得準確、可重復的結果。該工具可以手動操作,也可以在自動模式下操作。自動模式可用於快速、可復制的抗蝕劑處理，即使在復雜的抗蝕劑結構上也是如此。資產還提供出色的溫度控制。工藝溫度可以在5到80°C之間精確控制，而底物的溫度可以保持在5到60°C之間。還提供了可選的快速熱分區,它可以顯著減少處理小幾何晶片所需的時間。該模型包括一個交互式圖形用戶界面，使操作變得簡單直觀。此外,還提供了一個配方編輯器,允許用戶創建定制的配方並將其存儲在TOKYO ELECTRON CS450數據庫中。用戶提示直觀，使操作更簡單、更方便用戶。該設備還包括內置的高性能抗蝕劑跟蹤系統，提供對過程結果的實時監控。這允許運算符更正在抵抗處理過程的不同階段可能發生的任何變化。總體而言，CS450光刻裝置是一種功能強大、用戶友好的高級光刻加工機器。其先進的旋轉技術、溫度控制設置、用戶友好的圖形用戶界面以及實時抵抗跟蹤工具提供了卓越的均勻性和過程穩定性。此資產能夠滿足最具挑戰性的流程要求,為用戶提供無與倫比的準確性和可重復性。