二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269596 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是為工業規模的半導體制造工藝而設計的光阻設備。TEL CS450是一個全自動系統，設計用於精確，可重復和可靠的應用光敏晶片。該裝置可以自動精密處理正音或負音光刻膠。該機器使用獲得專利的激光傳感器集掃描晶片表面，在厚度、線寬和寬度具有預定均勻性的層中應用光致抗蝕劑。該工具集成了一系列先進技術。TOKYO ELECTRON CS 450在三個不同的階段自動應用光刻膠；抗旋轉器、激光寫入器和溫度控制器。抗蝕劑旋轉器執行初始應用階段，旋轉晶片並均勻準確地施加光致抗蝕劑。激光寫入器應用要蝕刻到晶片表面的圖樣，這是使用一系列發射相幹光的激光器來畫出特定圖樣來完成的。最後，溫度控制器的任務是保持一個穩定的溫度在腔室和整個晶片，以確保一個一致的和可重復的應用的光致抗蝕劑。為了保證應用過程中的最高精度、可靠性和均勻性，TEL/TOKYO ELECTRON CS 450配備了幾個先進的自動化系統。這包括在執行每個操作之前檢查資產的所有組件是否正常運行的「自我評估」,以及可以檢測和補償潛在錯誤來源的自動反饋模型。此外，精密的過濾系統在開始每一個過程之前都會清除空氣中的汙染物。TOKYO ELECTRON CS450是一種經驗證可靠的設備，已被用於制造尖端納米技術裝置。其先進的技術為光致抗蝕劑在半導體器件制造中的應用提供了高效、用戶友好的解決方案。