二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269597 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種光阻設備，旨在使半導體晶片上的微結構創建過程自動化。該系統由一個特殊的曝光燈、一個旋轉晶片級、一個氣體凈化單元和一個真空機器組成，用於晶片的快速和精確處理。曝光燈，金屬鹵化物燈，發出波長為351nm的短波紫外線，用於微結構的精確成像。可以將燈的波長和輻照度設置為特定的曝光水平，從而實現精確一致的成像。旋轉晶片級是由電機驅動的轉盤，以1800rpm旋轉晶片，並以用戶定義的增量設置曝光時間。該級具有減振機構，可確保平穩運行和精確定位精度。這允許在晶圓上精確放置微結構。氣體凈化工具用於達到光敏加工所需的高真空水平。一種特殊的高效率渦輪分子泵為工藝室提供了必要的真空和洗滌。這樣可以確保在加工過程中不會將汙染物引入腔室。真空資產由一個閉環模型和幾個傳感器組成，這些傳感器監測每個工藝室的壓力、溫度和分壓。該設備允許對真空進行精確控制，從而實現光刻膠系統的精確運行。總體而言，TEL CS450是光刻加工的可靠工具。它結合了先進的曝光燈技術、精密的晶片級控制和精確的真空單元調節，使半導體基板上的微結構得以精確制造。