二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269598 待售

TEL / TOKYO ELECTRON CS450
ID: 9269598
System CANON MPA 3000 Robot PC Coater chiller.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種先進的光致抗蝕劑設備,用於各種工業中,將感光材料沈積到晶圓和其他基板上,在表面上形成圖樣或層。該系統是一個完全集成的單元,具有一個自動階段,用於制圖和沈積均勻的感光材料層。該裝置采用高精度微調技術對機器中的晶片進行精確對準,並采用嵌入式反饋控制工具,可實現準確、可重復的結果。該資產的集成沈積模塊包括雙束電子束成像、組合激光射流成像模型和連續高速抵抗塗層設備。雙束電子束成像(EBI)高效地產生非常高分辨率的圖像,重復精度在一微米或以下。這樣可以確保精確的圖樣和沈積,同時使用最短的處理時間。Laser-Jet Imaging組合系統允許更快的曝光時間,同時生成詳細的圖樣和線條。連續、高速的抗性塗層單元在各種具有高線邊緣控制的抗性圖樣中提供均勻的抗性覆蓋。TEL CS450還可以配備多項高級功能,如離線支持機、作業調度工具和高級晶圓處理功能。脫機支持資產允許用戶根據其特定需求自定義模型。作業調度設備可針對特定的常規作業量身定制,減少體力勞動時間,提高效率。最後,先進的晶片處理能力使系統能夠將晶片從塗層模塊精確移動到固化站,從而提高了吞吐量。總體而言,TOKYO ELECTRON CS 450是一款功能強大、用途廣泛的光阻裝置,適合多個行業和應用。它提供了出色的分辨率和高精度結果,其功能旨在縮短處理時間並提高效率。對於任何需要對感光材料進行精確制圖和沈積的項目來說,這臺多功能合一機器都是絕佳的選擇。
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