二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269602 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是專為高端半導體器件加工而設計的高性能光刻設備。TEL CS450采用了先進的光刻技術，能夠使用高度復雜的光刻系統實現精確的模式修改。TOKYO ELECTRON CS 450最顯著的特點是它的高分辨率塗層工藝。它配備了先進的塗層，能夠精確地塗覆光刻膠薄膜，同時也是高端半導體批量制造的理想選擇。通過控制接觸壓力、旋轉和基板速度等沈積參數，確保了高精度的薄膜塗層。工藝室的溫度也被精確的調節，以確保光致抗蝕劑被正確的蒸發和固化，以適當的解釋光強度的變化。TOKYO ELECTRON CS450還配備了用於照明過程的先進能源。它具有利用紫外激光二極管（Ultaviolet Laser Diode, ULD）技術為光刻膠的曝光過程提供最佳能量劑量的室內激光單元。與傳統的曝光源相比,這允許更快的晶圓曝光量和更高的吞吐量。ULD Technology還確保各種模式的快速和可靠的曝光，而不會因為激光的均勻輸出而進行任何調整。TEL CS 450還具有超清潔環境。它有一個10000級（Class 1）清潔室，它提供了一個不受任何顆粒汙染的環境，因此保持了半導體器件所必需的超清潔條件。為了進一步保持環境的清潔，CS 450還配備了眾多的微濾器和後泵系統。總體而言，CS450是一個可靠和高度先進的光刻機設計用於大規模制造高端半導體器件。其高分辨率的塗層工藝、可靠的能源、超潔凈的環境，使其成為生產高質量、高精度半導體器件的理想選擇。