二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269604 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種技術先進的光刻設備，設計用於制造半導體制造的光刻口罩。該系統的主要目的是將電路圖的圖樣以極高的精度傳輸到光掩模。該單元融合了高分辨率投影光學、精確的舞臺和運動控制、高效清潔的工藝室以及精密的閉環控制算法。這些特性使其能夠提供精湛的圖像對圖像配準精度，使其成為納米級光刻必不可少的工具。TEL CS450機采用1600x1200 DPI 14微米分辨率的光引擎,提供卓越的圖像質量和準確性。這款輕型發動機配有300毫米方形基板X-Y分級工具，能夠獲得+/-15um的三面配準精度。這種精確度使圖樣能夠在晶片上精確成像。此外，該資產還采用了最先進的真空模型，與氣體清潔控制單元和二氧化碳幹泵設備集成在一起。這種真空系統確保腔室在加工過程中僅含有清潔和惰性氣體，從而確保了高產性能。此外，TOKYO ELECTRON CS 450單元還融合了一系列精密的控制系統和算法，旨在保證高精度運行。這些控制系統之一就是其先進的運動控制，它允許舞臺以亞微米精度精確定位晶片。它還具有先進的光束控制和曝光校準算法，有助於確保光刻面罩的正確曝光和聚焦。最後，該機具有全面的用戶界面，為操作維護提供了便捷的環境。總而言之，CS 450是一款高度先進的光刻工具，能夠以極高的精確度和可靠性制造出精確的石板。其高分辨率的光發動機、先進的運動控制資產、精密的控制算法和全面的用戶界面，使其成為納米級光刻的寶貴工具，其特點使其成為任何半導體制造應用的理想選擇。