二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是來自TEL（TOKYO ELECTRON）的模塊化、多合一的光刻膠設備。該系統專為各種光刻應用而設計，提供高精度和重復性。TEL CS450能夠處理從4英寸晶圓到450mm晶圓的大型基材。它提供了快速的周轉時間和最低的化學用量,使其成為許多生產環境中經濟高效的解決方案。TOKYO ELECTRON CS 450利用先進的光學技術，以最小的維護達到可重復的精度。它包括一個遠心投影透鏡，投射光具有很大的均勻性和四線性鏡（QLM），提供穩定的照明跨越大基板。該單元可以配置兩種不同的對準系統，TEL/TOKYO ELECTRON RC-STEP或RC6000，這取決於應用程序的具體要求。CS450還包括減少顆粒的幾項關鍵技術，特別是獲得專利的膜墊片和牢固地在晶片上含有顆粒的粘性墊子。這樣可以確保高吞吐量,甚至在具有挑戰性的基材上也能產生產量。內部空氣過濾可防止光學元件上的顆粒堆積，並確保機器內只有清潔空氣流動。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450除了精確度高外，還具有很高的彈性，可以處理廣泛的材料，包括常見的光刻膠、透明膜和其他光學材料。它還具有一個用戶友好的界面，允許用戶快速設置新的進程並分解現有的進程。這使得適應不斷變化的需求和不同的生產方法變得更加容易。總體而言，TOKYO ELECTRON CS450是快速、準確、高效光刻的理想解決方案。憑借其眾多功能和創新,它提供了最高級別的性能和靈活性。TEL CS 450具有高度的可配置性和經濟效益,是任何光刻應用的理想選擇。