二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269606 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種光致抗蝕劑設備，設計用於對矽片等薄膜等基板進行高精度蝕刻和圖樣處理。它是一個基於最新的最先進的技術和設計原理的先進系統。TEL CS450具有類似鉆石的碳源單元（DLCS），這是光致抗蝕劑工藝中使用的最先進的光敏化學品源。DLCS是一種激光誘導的高強度電子束蒸發源，能夠產生精確控制劑量的微米級化學物質。DLCS還具有先進的光學功能，如光束準直、能量穩定和光吸收。該設備還配備了基板處理機（STS），這是一種先進的工具，用於在基板暴露於DLCS之後對其進行清潔、修復和幹燥。TOKYO ELECTRON CS 450旨在與各種類型的底物一起工作，包括矽、石英和藍寶石。該資產能夠精確控制蝕刻深度和線條、點及其他形狀的圖案,蝕刻深度可達50微米,線寬可達300 nm。各種功能，如邊緣舍入、激光劃線、線條成形、電荷累積，都可以在模型中實現自動化，提供比手工所能達到的更高精度。該設備還旨在提供生物安全和運行效率。它帶有集成控制器,允許用戶遠程控制流程周期和參數。這意味著用戶可以減少汙染和損壞基板的風險，並確保精密和質量地進行蝕刻和制圖過程。控制器還具有安全功能，如在操作過程中防止系統過熱的熱保護，以及在加工過程中防止基板表面突然變化的振動監控。CS 450提供全面的蝕刻和圖案功能，包括蝕刻深度和線寬調整、高精度線形、邊圓、激光劃線、電荷累積。此外，該裝置還能夠生產各種光阻結構，包括微機電系統、有機發光二極管、印刷電路板和射頻裝置。它非常適合廣泛的應用,包括半導體、顯示器和傳感器的制造。