二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269607 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種光致抗蝕劑設備，使用戶能夠精確地將光致抗蝕劑塗抹到基板上。這種光致抗蝕劑系統基於一種「狹縫掃描」技術，即在光致抗蝕劑塗層表面上以「耙子」的方式移動固化紫外線光束。這使用戶能夠控制光刻膠層的深度和厚度，同時消除其他變量如基板位移。TEL CS450光敏裝置由四個主要部件組成：隔振器、狹縫掃描紫外線光源、x-y掃描運動級和光敏控制器。隔振器利用自適應阻尼機最大限度地提高刀具的精度，減少在基板上移動時施加的力，確保基板不會損壞。縫隙掃描的紫外線是一種真空紫外線（VUV）激光器，產生一種特定波長（195-205nm）的光來激活光敏材料。然後通過x-y掃描運動階段將這個波長均勻地分布在整個表面上，以達到所需的光致抗蝕劑深度和層均勻性。光刻膠控制器允許調整資產的參數，如掃描速度、通過深度和通過率。該控制器還允許用戶在固化過程中監視光刻膠材料,以確保獲得所需的結果。該模型還具有自動校準功能，使校準過程自動化，並允許用戶更快、更高效地工作。TOKYO ELECTRON CS 450也以光阻均勻性高、塗層厚度精確、返工率低而著稱。總體而言，CS 450是一種可靠、高效的光刻膠設備，使用戶能夠快速準確地將光刻膠塗抹到各種基板上。該系統的縫隙掃描技術、先進的元件和可調參數使其成為許多需要精確水平的光刻塗層的應用的理想單元。這臺機器能夠以比以前更高的一致性和效率產生符合用戶確切要求的結果。