二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269608 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是由TEL（TOKYO ELECTRON）專門為半導體器件制造而設計的光阻設備。該系統主要用於在半導體基板表面沈積感光化學品，最常見的是光致抗蝕劑，以便在設備制造過程中形成圖案化的層。該設備是一種全自動、靈活的工具,使用戶能夠快速響應客戶的需求並處理半導體設備生產周期中發生的技術變化。TEL CS450機利用了幾個關鍵部件，包括光敏處理室（PPC）、液體輸送工具和軟件控制器。PPC包含沈積單元，這是一個直接沈積和後續資產，有兩個水箱連接，用於溶液轉移。PPC的設計允許精確調節溫度、照明和溶液組成，以確保均勻和高分辨率的圖案。液體輸送模型用於將光致抗蝕劑從儲罐輸送到沈積室。軟件控制器是一個圖形用戶界面，允許對設備進行遠程監控。它還包括沈積參數的實時顯示，允許用戶在光刻塗層過程中根據需要調整設置。除了塗覆光刻膠外，TOKYO ELECTRON CS 450系統還能完成光刻膠條、預烤、開發等其他處理任務。它有一個精確的劑量單元，可以很容易地容納各種液體化學品，同時盡量減少浪費。機器還利用先進的清潔技術，幫助保持低汙染水平的沈積室。CS 450工具可以集成到更大的流程中,從而提高吞吐量和生產率。資產按照安全規定設計，並有不銹鋼制成的IPX-7外殼。這確保了對環境因素的高度保護。TEL CS 450模型非常適合需要快速處理時間和精確控制的操作,以便獲得最佳的微制造效果。其高精度沈積和精密的軟件控制使其成為目前最先進的光刻膠系統之一。