二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269614 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種光刻設備,其設計目的是提供卓越的抗蝕性圖樣質量,並具有出色的電機性能,可用於光刻、各向異性和各向同性蝕刻等程序。TEL CS450利用半自動平臺和直列式全尺寸烘焙室,每次加載最多可生產15個晶片。它還具有全方位的數字圖像處理功能，使其能夠用於光刻程序。此外，TOKYO ELECTRON CS 450還配備了四步進驅動電機，以確保對抗蝕劑註入以及底物位置和對準的精確控制。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450也有先進的製程系統，可以讓使用者輕鬆進行各種光刻步驟。它還配備了四軸行進和運輸控制單元，能夠執行高精度的X、Y、Z和旋轉運動。TEL CS 450具有高精度自旋塗層機，能夠在給定基板上感應出均勻的表面塗層，先進的多層沈積三脈沖濺射工藝，以及激光表面燒蝕工藝，用於基板清洗。此外，該工具還具有先進的抗反射塗層特性，可用於達到最佳圖樣質量。CS450還配備了集成的環境控制系統和無聚氯乙烯傳送帶，有助於防止靜電引起的問題。此外,它還具有緊湊的設計和較小的占地面積,允許用戶在利用資產的同時節省空間。CS 450具有這樣的功能,為用戶提供了可靠、安全的光刻膠型號。