二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269623 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一個多功能評估單元，設計用於評估基板上的光刻膠圖樣形成和薄膜圖樣。TEL CS450系統能夠對曝光、開發、抗回流和曝光後烘烤（PEB）過程進行高級控制和獨立管理。它用於制造半導體器件，包括有機、液晶顯示器和光掩模。TOKYO ELECTRON CS 450單元有一個用專有算法編程的高級控制模塊，以簡化、加速並精確地將光刻膠處理到基板上。其曝光模塊控制光刻波形，允許高對比度成像和低應力施加到光刻層。此外，它還配備了一個抗蝕劑回流機，可以將特殊的加熱溫帶施加到光刻層，從而實現更厚、更均勻的沈積。此外,CS 450工具還配備了自動工藝優化功能,可用於評估關鍵參數,如暴露劑量、顯影時間和PEB條件,以實現基板上光刻膠的最佳陣列。這一優化功能顯著減少了實驗過程中人為錯誤的數量，從而提高了整體生產率。最後,TEL/TOKYO ELECTRON CS 450資產具有先進的監控和測井能力,使操作員能夠跟蹤整個抗蝕劑處理過程,從而確保按照規範應用光刻膠。CS450模型非常適合工業應用,例如大量生產電子元件,因為它為圖像傳輸提供了可靠且經濟高效的解決方案。