二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269625 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種利用小粒子吸收方法提供高分辨率處理能力的光刻設備。光敏材料是一種光敏材料,用於在基板上創建圖樣。TEL CS450系統采用了一種獨特的方法，即使用分散在有機溶劑中的鈦矽酸鹽粉末小顆粒在暴露場的定義區域內產生真空。然後應用激光，使粒子吸收光，在晶圓上產生圖像。TOKYO ELECTRON CS 450專為半導體製造而設計，其特性小至0.3 μ m。該單元可實現高均勻度的曝光和高速度的光刻塗層和曝光。該機器允許精確控制曝光參數和工藝，使其成為高產量生產的理想選擇。該工具旨在確保長期取得可靠和一致的成果，並定期進行監測，以確保業績。TEL CS 450適合於多種應用，包括直寫電子束光刻、高級封裝以及其他需要高分辨率光刻膠圖樣的應用。資產整合了物理氣相沈積能力。塗層過程包含一個基板轉換室、預塗層室和後塗層以及一個控制站、一個晶圓清潔站和一個氣體噴射器。此外，CS 450對於氮化物、介電和金屬的底物溫度可高達180 °C。該模型還具有溫度、時間、壓力和厚度的處理窗口,可針對每一層處理進行調整。此外,CS450還具有極好的工藝特性,周期時間短,符合最高一致性標準。該設備具有較低的熱負荷，允許較高的熱預算進行處理，這反過來又有助於降低成本和提高速度。最後,該系統易於使用的界面使其用戶友好和高效.