二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9393333 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種用於半導體制造的先進光刻設備。TEL CS450非常適合在集成電路（IC）設備上實現非常精確的物理、電氣和光學特性。這是一個全自動系統，快速和均勻地塗覆零件和基板與一層薄薄的光刻膠。光刻膠是一種感光材料，用於在IC器件的表面上創建圖案。它首先被塗在一個均勻的薄層中，然後使用照相面罩暴露在紫外線下，在抗蝕劑上形成光的圖案。抗蝕劑通過在暴露的區域變硬而與光線相互作用。任何變硬的暴露區域都可以被沖走，留下面膜的圖案。TOKYO ELECTRON CS 450結合了氟化氫（HF）氣相沈積和自旋塗層技術，為光刻膠應用提供了優越的薄層附著力。自旋塗層還用於塗抹厚度均勻的塗層，使工藝產生可重復的結果。CS 450單元包括一個外圍控制板、中央控制器和自動真空化學輸送機。外圍控制板用於控制工具的自動，而中央控制器則負責控制整體操作。化學輸送資產可確保將諸如顯影劑、活化劑和清除劑等化學物質的準確劑量輸送到基質中。CS450具有10英寸和12英寸晶圓加工能力,基板支架可調。模型可以處理一定範圍的晶圓尺寸，直徑從2「到12」。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450還通過其集成的電動自旋塗層實現了光刻膠的高速應用。TEL CS 450具有支持多種晶片大小的能力,以及一次處理多達24個晶片的能力。這使得設備非常適合大規模生產。此外，TOKYO ELECTRON CS450具有高度可配置的自動化過程，可以很容易地改變或適應特定的需要。最後，TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一種用於在IC器件上精確形成圖樣的自動光刻系統。它將先進的HF氣相沈積和自旋塗層技術與真空化學輸送裝置相結合，具有優異的薄層附著力和均勻性。TEL CS450支持多種晶圓尺寸,並具有高度可配置的自動化流程,可用於大規模生產。