二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9411470 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一個集成光刻系統,專為高精度光刻應用而設計,使用戶能夠優化其微加工工藝。該單元允許用戶制作生產先進半導體產品和其他高端電子元件所必需的亞微米特性的精密圖樣。TEL CS450采用深紫外線均勻照明器，可支撐尺寸可達200毫米的大型基板。它還具有一個用於精確定位和燒蝕的雙軸可編程機械化.憑借其高分辨率的投影光學器件，可以以0.05 µm的最大分辨率曝光基板。該工具還具有流量為650 cc/min、總壓力為0.1MPa的7級壓力過濾資產，以實現原始圖像圖樣的最佳均勻性。此外，氮氣凈化在減少顆粒汙染方面更為有效。該模型以其用戶友好的界面易於操作，可用於生產廣泛的設備組件，包括晶圓級集成、光掩模圖樣以及其他微加工工藝。它還配備了先進的檢測和計量工具，如表面測量和缺陷檢測，以保證完善的工藝性能。通過將所有設備集成到同一臺設備中,用戶可以快速、輕松地執行可重復和可靠的光刻過程,並保證高精度微元件的產量。該系統還具有先進的照明控制模塊和專有的圖像失真校正算法，允許精確和一致地暴露於光刻材料。這有助於通過降低故障率來確保最佳的最終產品,從而最大限度地提高生產效率。總體而言，TOKYO ELECTRON CS 450光刻裝置旨在為用戶提供生產先進電子元件的可靠和嚴格的光刻工藝。它的多功能、全面的功能和可靠的性能使其成為高精度光刻操作的理想解決方案。