二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9412551 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是為生產半導體器件而設計的光刻設備。該系統用於在晶片和圖案化介質上開發模式，以產生晶體管和其他組件的微電路。TEL CS450包含一整套集成組件,可協同處理和開發抵抗模式。組件包括一個抗蝕劑自旋塗層單元、一個光抗蝕劑分配器、一個光抗蝕劑編輯器、一個多室抗蝕劑工藝工具和一個蒙版對齊器。抗蝕劑自旋塗層機設計用於在晶片表面上施加均勻的光敏層。這層光致抗蝕劑隨後被暴露在不同波長的紫外線下，以創建圖樣。曝光後，光致抗蝕劑分發器將所需圖樣的光致抗蝕劑分配到基板上，以發展微電路。光刻膠編輯器能夠精確編輯和優化高分辨率的掩模圖案。它還可以使用現有的掩碼陣列庫來生成與所需規範精確匹配的新設計。多室抗蝕劑工藝工具為後續光刻步驟提供了理想的環境。它配備了多個腔室，可以容納不同的光源，並允許晶圓表面同時發展模式。另外，TOKYO ELECTRON CS 450擁有掩模對準器。此工具旨在對齊多個基板上的圖案,從而在較大的區域內實現更均勻的結果。掩碼對齊器還有助於減少在進程之間移動晶片時的錯誤。最後,對CS450進行了優化,以獲得準確有效的結果。它配備了幾個集成組件，旨在自動執行抗蝕劑陣列制作過程，同時保持高精度。因此,TOKYO ELECTRON CS450可以產生具有緊密公差和一致性能的結果。