二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9101357 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment是一種先進的晶圓處理系統,用於開發半導體工業中使用的多種光刻膠。該單元采用機動化晶片處理、晶片調平器、40°傾斜安裝真空晶片旋轉等先進技術工具。它具有350-700 nm的全光譜範圍，具有精確的光譜控制，使得光刻膠的曝光和開發具有高精度。強健的機器設計提供了高吞吐量的自動化過程序列管理，晶圓識別，溫度管理和應變模擬。配置選項允許集成其他光源（如DUV、FUV或POLAR）和模塊化組件（例如圖像形成系統、反射計或質量規格）。該工具可確保多種類型的系統保持一致的質量,包括InGaAs、GeSe、SiC和SiGe。該資產具有先進的自動化對齊功能,如多點全局優化、非線性網格優化和可定制的步長序列,為光刻膠的曝光和開發提供了卓越的精度和準確性。該型號配備了現場氮氣生產線，還采用了新穎的氮氣輔助技術，實現了最佳性能。這種氮氣輔助高壓照射能改善粘附力，降低光刻膠膜的應力。此外,該設備還采用CCD或MAM敏感配方提供子層成像和局部曝光後烘烤,有助於優化蝕刻工藝。TEL CS 500高度靈活、用戶友好的軟件支持模式識別、自我表征和可定制的作業管理。它提供了以各種格式（從GDSII到CDF和Xyce）管理作業以及跟蹤特定模式操作的可能性。總之，TOKYO ELECTRON CS 500光抗蝕劑系統是一個先進而穩健的晶圓處理單元，適用於一系列的半導體應用。其精確的光譜範圍、氮氣輔助高壓曝光技術以及可定制的作業管理機器，使CS 500具有很高的準確性、可靠性和效率。