二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269632 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為生產高度精確的集成電路和其他深亞微米結構而設計的最先進的光刻設備。該系統將光刻光學的高分辨率與大面積處理能力和內置自動化相結合，使用戶能夠以高效可靠的方式制作復雜、高性能的電路圖樣。該單元的核心是TEL專有的直接照明光學技術，它為成像光阻層提供了卓越的分辨率和對比度。光學器件包括用於記錄圖樣形狀的掃描掩模投影機（SMPS）、帶有顯微鏡的Karl Suss MA65掩模對準器、安裝在XY舞臺上的二進制（x-tal）鏡頭以及遠心投影儀鏡頭。這種光學元件的獨特組合在1 nm RMS的區域內產生無與倫比的線寬粗糙度（LWR）值。TEL CS500非常適合晶片處理和自動化,包括一個全伺服驅動的晶片堆叠工具,具有防顆粒保護和精密晶片定位器,以確保並行性和側向對準精度。這樣可以確保晶片能夠快速輕松地從成像站精確加載和卸載。該資產還配備了一整套軟件工具和控制與操作功能。所有參數如曝光能量、光斑大小、曝光均勻性、工藝溫度和掩模對準精度都可以從直觀的計算機圖形用戶界面（GUI）中精確控制。預先設定的配方配方和用戶定義的過程可以存儲在模型上，以便快速周轉晶圓批次。總體而言，TOKYO ELECTRON CS 500是一種高度先進的設備，具有先進的特性，用於生產高要求的集成電路和其他先進的光敏結構。其可靠、準確的成像能力、連續自動化和全面的軟件套件使其成為任何商業光刻膠生產環境的理想選擇。