二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種用於半導體和微電子應用的高性能光阻設備。光刻膠系統結合了先進的成像光學、高精度和堅固的力學以及先進的軟件。其結果是一個非常堅固可靠的平臺,可以支持各種抵抗處理要求。TEL CS500利用數位光束投影（DBP）技術提供高精度的光掩模對基板的曝光。這種技術保證了各種結構的均勻暴露和模式的可重復性。此外，該裝置采用受控強度照明和優化光學方法來減少眩光、空間相關照明和高分辨率成像，以提高生產速度和產量。TOKYO ELECTRON CS 500的最高分辨率水平是通過使用亞微米技術，將精確的圖像精確再現到抗蝕劑基板上來實現的。此外,該機器還能夠處理薄抵抗材料（薄至0.2 μ m）,並具有高精度叠加功能和多模具對準精度級別。這種特性和優勢的結合，讓用戶能夠為廣泛的抗光刻應用實現最佳工藝參數。CS 500的高級軟件進一步增強了該工具的功能。通過使用戶能夠在抵抗過程中完全控制資產的參數和設置,它顯著提高了模型的準確性和可靠性,同時大大縮短了運行時間。在安全和維護方面，CS 500設計了一個自動清洗設備，以清除碎片顆粒，降低汙染風險。除了內置安全聯鎖以防過程操作過程中意外暴露外，這些功能還大大提高了用戶的安全性。總之，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一款高級光阻系統，結合了先進的光學、高精度和魯棒的力學，以及先進的軟件，以支持廣泛的抗性處理要求。利用這些功能,TEL CS 500能夠提供高精度、高分辨率的生產,並最大限度地提高產量和最小化運行時間。