二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269637 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種最先進的光刻設備,能夠精確控制蝕刻過程。利用真空紫外線（VUV）光系統，能夠精確控制基板上橫截面形狀的生成，如線條和孔洞。VUV光單元可根據用戶指定的強度設置進行調節,並具有多焦點機器,可提高VUV輻射在多個基板上的均勻性。該工具利用了一系列光敏材料來實現預期的結果，包括一系列基材的正型和負型顯影劑。通過其先進的控制資產,TEL CS500確保了可重復的過程結果和高精度的蝕刻.該模型非常適合於創建復雜的形狀,以及在矽、聚合物和金屬等基板上對線和孔蝕刻進行大容量加工。TOKYO ELECTRON CS 500具有高精度的計量機理和時間控制的發展。由於其精密的計量設備，它可以在監測薄膜厚度的同時調整化學物質的數量和曝光時間，以確保薄膜厚度在整個基板上的均勻性。時間控制的開發系統允許TOKYO ELECTRON CS500在開發模式時評估和調整濃度和曝光時間。此外,CS 500還具有內置的自我診斷程序,可執行單元和進程檢查並記錄可重復處理的設置。TEL CS 500具有多種安全功能,可保護用戶和機器免受潛在危害。輻射和激光安全措施到位，工具實施嚴格的溫度、壓力和CO2監測措施，增強安全性。CS500是一種強大的資產，為光刻材料的加工和蝕刻設定了行業標準。其人性化的界面、優越的控制和可重復性，以及全面的安全措施，使其成為光刻加工和蝕刻的頂級選擇。